通用MEMS技术实验室 General Process MEMS Lab

溅射系统

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热压系统

LB设备

反应离子刻蚀机

扫描电镜

直流磁控溅射系统

电化学测试系统

俄歇电子能谱仪

超高真空薄膜溅射机

光刻机

行星式球磨机

切割机

微电镀系统

甩胶台

射频阻抗/材料分析仪

纳米材料高频感应制备装置

超细分散仪

冷冻干燥机

喷雾干燥剂

紫外可见分光光度计

荧光分光光度计

纳米粒度分析仪

Zata电位分析仪

粘度分析仪

气相色谱仪

纯化层析仪(高效液相色谱仪)