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通用MEMS技术实验室 General Process MEMS Lab
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====== MEMS闭锁电热双稳态微开关研究进展-毛胜平(硕士在读) ====== 【题目】电热驱动的闭锁电热双稳态微开关 【摘要】提出了一种利用双层膜受热翘曲驱动的双稳态MEMS开关,该开关利用闭锁触点实现机械锁定,在稳态保持时不需要持续功耗。具体的工作原理是当对开关中的驱动器A施加一个电信号时,电阻发热,由于双层膜效应,驱动器A向下弯曲,同时末端的上触点拨开驱动器B末端的下触点。当电信号移去后,驱动器A冷却并回复,这时候回复力已经不足以使上触点再次拨开下触点,从而两个触点搭接在一起形成一个稳态。由于闭锁触点同时也充当外部电路电接触触点,这时检测外部电路,开关处于“开”状态。同理,当再次对驱动器B施加一个电信号时,驱动器B末端的下触点拨开上触点,冷却回复后,开关回到了初始状态,完成了一个工作周期。本报告介绍了该开关的设计、工作原理,开关的电、热、力等物理场的理论模型的计算,以及探讨了工艺制备,并进行了开关的力学特性测试。 【图片】 {{:xsbg:device_1_.jpg|}} 器件结构示意图
xsbg/msp.txt
· 最后更改: 2010/06/02 01:16 (外部编辑)
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