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通用MEMS技术实验室 General Process MEMS Lab
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====== 通用MEMS技术实验室 ====== ===== MEMS实验室简介 ===== “通用MEMS技术实验室”依附于上海交通大学微纳科学技术研究院,由7位专职成员和一位兼职教授组成,分别来自微电子、化学、材料、机械、光学工程等学科,其中教授3名,副教授2名,高工1名,讲师2名。 研究室主要研究方向为非硅材料三维微加工技术研究和信息MEMS器件研制,涉及LIGA/准LIGA加工技术、UV-LIGA 技术、电化学微加工技术、薄膜电子材料制备与微细加工技术、RF MEMS器件,Optical-MEMS器件、MEMS继电器、MEMS传感器等诸多领域。 近3年来研究室在上述领域先后主持完成了包括国家863计划5项、自然科学基金6项、上海市发展基金、预研基金在内的二十多项国家级与省部级重要科研项目,建立了一系列具有自主知识产权的非硅三维微加工工艺,研制出微马达、MEMS 光开关、MEMS 光衰减器、MEMS 继电器等典型 MEMS 器件。 [[members|研究团队]] [[achievement:start|目前在主要研究方向所涉及的领域承担着近十项研究课题]] ===== 实验室关注 ===== * [[news:start]] * [[news:focus|饮用水检测]] =====最近更新===== <latestupdate> * [[http://www.gpmems.com/feed.php|订阅更新]]