<?xml version="1.0" encoding="utf-8"?>
<!-- generator="FeedCreator 1.7.2-ppt DokuWiki" -->
<?xml-stylesheet href="http://www.gpmems.com/lib/exe/css.php?s=feed" type="text/css"?>
<rss version="2.0">
    <channel>
        <title>通用MEMS技术实验室      General Process MEMS Lab xsbg</title>
        <description></description>
        <link>http://www.gpmems.com/</link>
        <lastBuildDate>Fri, 15 May 2026 11:43:16 +0000</lastBuildDate>
        <generator>FeedCreator 1.7.2-ppt DokuWiki</generator>
        <image>
            <url>http://www.gpmems.com/lib/tpl/dokuwiki/images/favicon.ico</url>
            <title>通用MEMS技术实验室      General Process MEMS Lab</title>
            <link>http://www.gpmems.com/</link>
        </image>
        <item>
            <title>MEMS/NEMS Nanomaterials_陈全芳 教授</title>
            <link>http://www.gpmems.com/xsbg/cqf</link>
            <description>MEMS/NEMS Nanomaterials_陈全芳 教授

	*  2009年7月28日下午，中佛罗里达大学机械工程专家陈全芳教授为微纳科学技术研究院作了题为“MEMS/NEMS和纳米材料”的学术报告，报告会由三维非硅MEMS实验室主任丁桂甫教授主持，全院各教研组部分师生参加了此次报告会。陈全芳教授在报告中对微尺度材料的性能测试作出了全方位的解读，结合自己的背景课题针对PDMS柔性聚合物材料的性能测试进行了深入的讲解，并和院里的老师和同学进行了十分有益的学术性交流，就微拉伸材料性能测试结果，PDMS柔性材料表面改性等具体的问题进行了讨论，陈全芳教授所从事的研究领域及具体项目，和院内的研究项目存在部分交叉，本次学术交流活动使与会的老师和同学对国外同领域的研究有了一次深入的了解。…</description>
        <category>xsbg</category>
            <pubDate>Wed, 02 Jun 2010 01:16:04 +0000</pubDate>
        </item>
        <item>
            <title>MEMS Resonators for RF and Mobile Phone Application_ ***博士</title>
            <link>http://www.gpmems.com/xsbg/johnny</link>
            <description>MEMS Resonators for RF and Mobile Phone Application_ ***博士

	*  详细简历，报告信息，如有需要联系王老师wyyw@sjtu.edu.cn</description>
        <category>xsbg</category>
            <pubDate>Wed, 02 Jun 2010 01:16:04 +0000</pubDate>
        </item>
        <item>
            <title>PDP用铝电极-刘启发（博士在读）</title>
            <link>http://www.gpmems.com/xsbg/lqf</link>
            <description>PDP用铝电极-刘启发（博士在读）

【题目】 PDP用铝电极课题介绍

【摘要】介绍PDP新型铝电极及氧化铝介质薄膜项目；介绍PDP相关知识、结构原理及制程；探讨实验方案。

【图片】

	*  PDP显示单元原理示意图</description>
        <category>xsbg</category>
            <pubDate>Wed, 02 Jun 2010 01:16:04 +0000</pubDate>
        </item>
        <item>
            <title>MEMS闭锁电热双稳态微开关研究进展-毛胜平（硕士在读）</title>
            <link>http://www.gpmems.com/xsbg/msp</link>
            <description>MEMS闭锁电热双稳态微开关研究进展-毛胜平（硕士在读）

【题目】电热驱动的闭锁电热双稳态微开关

【摘要】提出了一种利用双层膜受热翘曲驱动的双稳态MEMS开关，该开关利用闭锁触点实现机械锁定，在稳态保持时不需要持续功耗。具体的工作原理是当对开关中的驱动器A施加一个电信号时，电阻发热，由于双层膜效应，驱动器A向下弯曲，同时末端的上触点拨开驱动器B末端的下触点。当电信号移去后，驱动器A冷却并回复，这时候回复力已经不足以使上触点再次拨开下触点，从而两个触点搭接在一起形成一个稳态。由于闭锁触点同时也充当外部电路电接触触点，这时检测外部电路，开关处于“开”状态。同理，当再次对驱动器B施加一个电信号时，驱动器B末端的下触点拨开上触点，冷却回复后，开关回到了初始状态，完成了一个工作周期。本报告介绍了该开关的设计、工作原理，开关的电、热、力等物理场的理论模型的计算，以及探讨了工艺制备，并进行了开关的力学特性测试。…</description>
        <category>xsbg</category>
            <pubDate>Wed, 02 Jun 2010 01:16:04 +0000</pubDate>
        </item>
        <item>
            <title>MEMS电磁驱动微继电器集成制造-苗晓丹（博士在读）</title>
            <link>http://www.gpmems.com/xsbg/mxd</link>
            <description>MEMS电磁驱动微继电器集成制造-苗晓丹（博士在读）

【题目】MEMS电磁驱动集成双稳态微继电器

【主要内容】MEMS电磁驱动集成双稳态微继电器集成化微型继电器主要工艺</description>
        <category>xsbg</category>
            <pubDate>Wed, 02 Jun 2010 01:16:04 +0000</pubDate>
        </item>
        <item>
            <title>MEMS 学术报告</title>
            <link>http://www.gpmems.com/xsbg/start</link>
            <description>MEMS 学术报告

校外邀请

2009-07-28-MEMS/NEMS Nanomaterials-陈全芳教授

2009-11-05-MEMS Resonators for RF and Mobile Phone Application-***博士

组会讨论

2009-09-28-MEMS继电器-吴义伯（博士在读）

2009-09-28-MEMS微拉伸-汤俊（硕士在读）

2009-10-20-MEMS能量采集器-王佩红（博士在读）

2009-10-20-MEMS微波天线-宿智娟（硕士在读）

2009-10-20-PDP用铝电极-刘启发（博士在读）

2009-11-02-MEMS电磁驱动微继电器集成制造-苗晓丹（博士在读）

2009-11-02-MEMS电热微驱动器-张小波（硕士在读）

2009-12-09-  -藏法珩（硕士在读）

2009-12-09-   -邓敏（博士在读）

2009-12-22-MEMS闭锁电热双稳态微开关研究进展-毛胜平（硕士在读）

2009-12-22-微结构电铸均匀性研究-陈晖（硕士在读）

2009-12-22-单向超大电流瞬…</description>
        <category>xsbg</category>
            <pubDate>Wed, 02 Jun 2010 01:16:04 +0000</pubDate>
        </item>
        <item>
            <title>MEMS微拉伸-汤俊（硕士在读）</title>
            <link>http://www.gpmems.com/xsbg/tj</link>
            <description>MEMS微拉伸-汤俊（硕士在读）

【题目】基于MEMS的单轴微拉伸系统测试方法的研究及应用

【摘要】由于尺度效应和制备工艺对于MEMS微尺度结构材料的力学性能产生较大影响，因此需要搭建一台本实验室工艺条件下微米级材料力学特性测试平台。我们开发了一套单轴微拉伸测试系统，并成功实现控制自动化。同时通过ANSYS有限元模拟，得到易于系统夹持和对中的测试样品设计。采用UV-LIGA技术制备了两种工艺的测试样品。本系统已经基本稳定，因此研究了不同溶液体系下，电镀镍材料的力学特性。试验结果表明，不同溶液体系下，硫酸盐电镀液电镀出来的镍具有最高的抗拉强度和可延展性。其他三种电镀液制造的镍材料符合HALL-PETCH关系，晶粒尺度越小，抗拉强度越大，延展性越差。同时，我们对断口也进行了分析。…</description>
        <category>xsbg</category>
            <pubDate>Wed, 02 Jun 2010 01:16:04 +0000</pubDate>
        </item>
        <item>
            <title>MEMS能量采集器-王佩红（博士在读）</title>
            <link>http://www.gpmems.com/xsbg/wph</link>
            <description>MEMS能量采集器-王佩红（博士在读）

【题目】基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究</description>
        <category>xsbg</category>
            <pubDate>Wed, 02 Jun 2010 01:16:04 +0000</pubDate>
        </item>
        <item>
            <title>MEMS继电器-吴义伯（博士在读）</title>
            <link>http://www.gpmems.com/xsbg/wyb</link>
            <description>MEMS继电器-吴义伯（博士在读）

【题目】电热驱动的永磁双稳态MEMS继电器

【摘要】
提出了一种基于电热电磁驱动的双稳态MEMS继电器，其工作机理是当在基于双层膜效应的电热驱动器两端通入一定脉冲电流时，双稳态十字形梁将会在电热驱动器作用下，在悬臂梁末端产生变形，导通外电路的同时使磁回路闭合，由于永磁体的作用保持电路闭合状态。若使电路断开，则在另外一端的电热驱动器通入另一脉冲电流，双稳态十字形梁的另外一端闭合电回路，实现同样的稳态功能。本报告首先分析了扭梁/悬臂梁双稳态机构的力学性能，然后对电热微驱动器的结构尺寸进行优化，提出了一种基于聚合物多层膜效应的电热微驱动器，对集成制造工艺进行了深入探索，成功制备出基于厚铜牺牲层技术的多元材料兼容的集成式永磁双稳态MEMS继电器。…</description>
        <category>xsbg</category>
            <pubDate>Wed, 02 Jun 2010 01:16:04 +0000</pubDate>
        </item>
    </channel>
</rss>
