http://www.gpmems.com/ Wed, 08 Apr 2026 18:59:24 +0000 FeedCreator 1.7.2-ppt DokuWiki http://www.gpmems.com/lib/tpl/dokuwiki/images/favicon.ico http://www.gpmems.com/ http://www.gpmems.com/patent1/start MEMS实验室专利 2015年度专利申请 * 一种高效制备硅转接板的方法，丁桂甫,张亚舟,孙云娜,汪红,吴凯峰,王慧颖,罗江波 CN201510423748.7 2015.7.17 * 本发明公开一种高效制备硅基转接板的方法，步骤：1)旋涂光刻胶、光刻、显影；2)刻蚀；3)氧化；4)溅射Ti/Cu等种子层；5)键合干膜光刻胶、光刻、显影；6)填充TSV；7)去胶、种子层，制备的Cu-TSV与Cu-Pad是无暇连接。本发明能以更高的效率、更低的成本制备硅基转接板，结合牢固，且制备工艺更为灵活。… patent1 Tue, 12 Sep 2017 06:21:15 +0000