http://www.gpmems.com/ Fri, 15 May 2026 12:40:39 +0000 FeedCreator 1.7.2-ppt DokuWiki http://www.gpmems.com/lib/tpl/dokuwiki/images/favicon.ico http://www.gpmems.com/ http://www.gpmems.com/introduction/devices 仪器设备 * 注：请将鼠标移至图片上可看到仪器名称 [溅射系统][溅射系统] [溅射系统][热压系统] [LB设备][反应离子刻蚀机][扫描电镜][直流磁控溅射系统] [电化学测试系统][俄歇电子能谱仪][超高真空薄膜溅射机][光刻机] [行星式球磨机][切割机][微电镀系统][甩胶台] [射频阻抗/材料分析仪][纳米材料高频感应制备装置][超细分散仪][冷冻干燥机] [喷雾干燥剂][紫外可见分光光度计][荧光分光光度计][纳米粒度分析仪 ] [Zata电位分析仪][粘度分析仪][气相色谱仪][纯化层析仪(高效液相色谱仪)]… introduction Wed, 02 Jun 2010 01:16:03 +0000 http://www.gpmems.com/introduction/directions 研究方向 以新颖微加工技术作为主要研究方向，系统开展非硅基三维微加工工艺创新研究，在加工技术创新的基础上，致力信息 MEMS 器件创新设计与制造技术研究。 非硅基三维微加工工艺 introduction Wed, 02 Jun 2010 01:16:03 +0000 http://www.gpmems.com/introduction/intro MEMS通用技术实验室 * “MEMS通用技术实验室”隶属上海交通大学微纳科学技术研究院，由7位专职成员和一位兼职教授组成，分别来自微电子、化学、材料、机械、光学工程等学科，其中教授4名，副教授2名，高工1名，讲师1名，在读研究生29，其中博士生9人。本研究室主要研究方向为非硅材料三维微加工技术研究和信息MEMS器件研制，涉及LIGA/准LIGA加工技术、UV－LIGA 技术、电化学微加工技术、薄膜电子材料制备与微细加工技术、RF MEMS器件，Optical－MEMS器件、MEMS继电器、MEMS传感器等诸多领域。近3年来研究室在上述领域先后主持完成了包括国家863计划5项、自然科学基金6项、上海市发展基金、预研基金在内的二十多项国家级与省部级重要科研项目，建立了一系列具有自主知识产权的非硅三维微加工工艺，研制出微马达、MEMS 光开关、MEMS 光衰减器、MEMS 继电器等典型 MEMS 器件。目前在主要研究方向所涉及的领域承担着近十项研究课题。… introduction Mon, 06 May 2013 06:04:17 +0000 http://www.gpmems.com/introduction/mems MEMS简介 * 1959年诺贝尔物理学奖获得者Richard P.Feynmann在他的预言性演讲“There‘s Plenty of Room at the Bottom”中展望了制造技术的两大发展途径：从宏观到微观（Top-Down）和从最小构造模块的分子开始进行物质构筑（Bottom-Up）。其中从宏观到微观（Top-Down）的思想在之后数十年飞速发展的微电子机械系统（MEMS：Micro-electro-mechanical systems）技术中得到了体现。微电子机械系统(MEMS)技术是对半导体集成电路工艺技术的延伸和发展，是微电子技术与机械、光学、生物、材料等众多领域交叉结合的产物。其借助标准IC工艺以及基于此发展的体硅加工，表面硅加工、LIGA（德语LIthographie Galvanoformung Abformung的缩写）及电子放电加工等新型微加工工艺实现微型传感器、微型执行器、信号处理以及控制电路、接口电路、通信系统和电源集于一体的微系统。… introduction Wed, 02 Jun 2010 01:16:03 +0000 http://www.gpmems.com/introduction/projects 项目介绍 近三年所承担主要科研项目 国家863计划课题5项 * 非硅表面微加工及柔性衬底技术，丁桂甫，2006.8-2008.12。 * 面向非硅微结构的基础力学特性的微拉伸测试方法及设备，汪红，2006.12-2008.12。 introduction Mon, 06 May 2013 06:05:34 +0000 http://www.gpmems.com/introduction/start MEMS实验室介绍 * MEMS实验室简介 * MEMS简介 * 研究方向 * 项目介绍 * 仪器设备 introduction Wed, 02 Jun 2010 01:16:03 +0000