http://www.gpmems.com/ Thu, 30 Jul 2026 23:05:22 +0000 FeedCreator 1.7.2-ppt DokuWiki http://www.gpmems.com/lib/tpl/dokuwiki/images/favicon.ico http://www.gpmems.com/ http://www.gpmems.com/achievement/01 面向非硅微结构的微拉伸测试系统 * 薄膜材料单轴微拉伸测试系统和测试原理 * 动态图像实时采集和Ni金属膜应力应变曲线 achievement Wed, 02 Jun 2010 01:16:01 +0000 http://www.gpmems.com/achievement/03 非硅基MEMS惯性传感冲击开关 * MEMS 惯性冲击开关典型设计示图 * MEMS惯性冲击开关阵列光学照片及封装的单个器件 * MEMS惯性冲击开关的典型测试结果 achievement Wed, 02 Jun 2010 01:16:01 +0000 http://www.gpmems.com/achievement/04 金属基碳纳米管复合材料 * 锌/碳纳米管复合薄膜变形区SEM图像 * 光亮锌/碳纳米管复合薄膜变形区中基体损伤的SEM图像 achievement Wed, 02 Jun 2010 01:16:01 +0000 http://www.gpmems.com/achievement/05 双稳态MEMS继电器 * 基于MEMS技术的BST薄膜可调电容器介电性能 * 双稳态电热微驱动器与微继电器 achievement Wed, 02 Jun 2010 01:16:01 +0000 http://www.gpmems.com/achievement/06 MEMS电磁继电器 MEMS摆臂式微继电器结构设计示图 四路电磁微继电器及其封装外壳与盖板 制得的继电器样品图 achievement Wed, 02 Jun 2010 01:16:01 +0000 http://www.gpmems.com/achievement/07 场发射阴极制备 * 图形化的阴极表面象素点SEM图像和根植于镍基体中的碳纳米管 * 场发射I－V曲线和F－N曲线 * 场发射阴极结构示意图 * 场发射阴极结构示意器件 achievement Wed, 02 Jun 2010 01:16:01 +0000 http://www.gpmems.com/achievement/08 可变电容 * the electric field dependence of dielectric property for : (a) Cu/BST/LNO(100)/Pt capacitor, (b) LNO(110)/Pt(111) and (c) Cu/BST /Pt capacitor,respectively * 铜牺牲层释放后热驱动器SEM照片 * 双稳态热驱动器及继电器SEM照片 achievement Wed, 02 Jun 2010 01:16:01 +0000 http://www.gpmems.com/achievement/09 碳纳米管基传感器跨尺度集成制造技术 * 项目简介 * 碳纳米管因其独特的功能特性成为各类传感器提升敏感能力的利器，以表面修饰电极、敏感电阻器（包括场效应管）和场离化电极为代表的碳管增强传感器展现出独特的性能优势和实用化前景，但是如何将碳管有效集成融入传感器件，并确保其与各类电极间的可靠结合，仍然是困扰这类传感器规模化制造的关键技术难题。本项目提出了一种借助非硅微加工工艺实现碳管互连集成制造的新方法，结合碳纳米管植布工艺和碳纳米管阵列生长技术，该方法不但能够确保碳纳米管与电极间可靠结合，而且可以通过器件结构多通道化设计在微加工的平台上实现跨纳-微-宏尺度的完全集成制造。此外，该技术的确立还可以从更广泛的层面上解决碳管与金属微结构有效结合的难题，使各种碳纳米管敏感电极的规模化、可重复集成制造成为可能。… achievement Fri, 09 Nov 2012 13:33:01 +0000 http://www.gpmems.com/achievement/10 跨尺度集成制造的碳纳米管增强型敏感电极研究 * 立项意义及方向 * 通过对碳纳米管植布技术的充分发掘和合理运用，解决碳纳米管在各种传感器微电极中应用的跨尺度集成制造难题，形成相应的示范工艺和典型技术路线，并在此基础上提出典型的碳纳米管改性/增强传感器的创新设计，开发相应的跨尺度集成制造流程，完成典型敏感电极示范应用，为碳纳米管在传感器技术领域产业化应用奠定设计与制造技术基础。… achievement Mon, 05 Nov 2012 14:13:46 +0000 http://www.gpmems.com/achievement/start achievement Tue, 12 Sep 2017 06:16:50 +0000