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项目介绍

项目介绍

近三年所承担主要科研项目

国家863计划课题5项

非硅表面微加工及柔性衬底技术，丁桂甫，2006.8-2008.12。
面向非硅微结构的基础力学特性的微拉伸测试方法及设备，汪红，2006.12-2008.12。
微型化通讯继电器设计与集成制造技术研究，戴旭涵，2006.12-2008.12。
新型双稳态电热微驱动器与微继电器研究，张丛春。
电磁微机械继电器研究与应用，丁桂甫，2003.6-2004.12。

国家自然科学基金4项

纳米碳管植布技术研究，丁桂甫，2008.1-2010.12。
永磁锁定的双稳态电热微驱动器与微继电器研究，汪红，2007.1-2009.12。
新型集成双稳态MEMS微电磁驱动器的理论与实验研究，戴旭涵，2005.1-2007.12。
硅衬底上集成的新型可调微波电容器研究，张丛春，2008.1-2010.12。

基础科研重点项目1项

、宽带毫米波天线实现方法研究，丁桂甫，2006.1-2007.12

教育部创新培育资金项目1项

多元材料兼容的UV－LIGA集成制造技术，丁桂甫，2008 .7 -2011. 6。

上海市纳米专项4项

纳米碳管复合电接触材料研究，丁桂甫，2004.12-2006.12
汽车零部件的纳米镀锌应用技术研究，姚景元，2008.10-2010.9
碳纳米管场发射阴极制备新方法研究，姚景元，2006.10-2008.9。
90nm以下芯片三维全局互连技术，杨春生，2005.10-2007.10。

上海市自然科学基金1项

金属基纳米碳管复合材料制备及强化机制研究汪红2005.10-2007.10。

上海市科学技术发展基金2项

MEMS光纤连接器实用化关键技术研究，丁桂甫，2004.12-2006.12。
基于MEMS技术的BST薄膜及可调电容器研究，杨春生，2005.9-2007.9。

上海市科委国际合作专项课题1项

难降解污染物电化学降解新机制研究，丁桂甫，2008.11-2009.10