MEMS通用技术实验室

“MEMS通用技术实验室”隶属上海交通大学微纳科学技术研究院，由7位专职成员和一位兼职教授组成，分别来自微电子、化学、材料、机械、光学工程等学科，其中教授4名，副教授2名，高工1名，讲师1名，在读研究生29，其中博士生9人。本研究室主要研究方向为非硅材料三维微加工技术研究和信息MEMS器件研制，涉及LIGA/准LIGA加工技术、UV－LIGA 技术、电化学微加工技术、薄膜电子材料制备与微细加工技术、RF MEMS器件，Optical－MEMS器件、MEMS继电器、MEMS传感器等诸多领域。近3年来研究室在上述领域先后主持完成了包括国家863计划5项、自然科学基金6项、上海市发展基金、预研基金在内的二十多项国家级与省部级重要科研项目，建立了一系列具有自主知识产权的非硅三维微加工工艺，研制出微马达、MEMS 光开关、MEMS 光衰减器、MEMS 继电器等典型 MEMS 器件。目前在主要研究方向所涉及的领域承担着近十项研究课题。