====== MEMS惯性开关的基本模型与平衡方程 ====== * 引自蔡豪刚硕士论文(2006级硕士) * 关键字:运动平衡方程,拉普拉斯变换,传递函数,傅里叶变换,频域 {{:theory:mems惯性开关的基本模型与平衡方程.png|1}} {{:theory:mems惯性开关的基本模型与平衡方程2.png|2}} {{:theory:mems惯性开关的基本模型与平衡方程3.png|3}} {{:theory:mems惯性开关的基本模型与平衡方程4.png|4}}