====== MEMS实验室发表文章 ======


=====2013年度=====
  *** 一、基于柔性掩膜的高可靠性玻璃喷砂微加工工艺**
    * **摘要**：喷砂是一种高效率的表面整形加工技术，当它与微加工的特殊掩膜技术结合，可以实现对材料表层的选择性刻蚀微加工，即喷砂微加工技术。它对玻璃、硅、陶瓷等脆性材料的微通孔加工尤其有效。其中，掩膜材料及其成型技术是影响微加工性能的决定性因素。本文借助精密切削工艺实现PDMS/SU-8微结构边界精确互补成型，构成了一种高度可重复PDMS掩膜微结构，同时对传统的喷砂清洗机进行改造，使其适应玻璃三维微加工的技术要求。利用上述新工艺对玻璃基片进行喷砂刻蚀加工，并对其中的关键工艺参数影响进行了初步研究。结果表明，喷砂刻蚀具有很高的加工效率，喷砂砂材的颗粒度选择和压缩气压调节均对刻蚀速率具有决定性影响，成型掩膜能够满足500微米玻璃刻蚀通孔的要求。
    * {{:article:干法喷砂机刻蚀原理图.png|}}    {{:article:专用喷砂刻蚀机基本结构示意图.png|}}
    * {{:article:掩膜结构的sem照片.png|}}