====== 双稳态MEMS继电器 ====== {{:achievement:image035.gif|}}{{:achievement:image037.jpg|}} * 基于MEMS技术的BST薄膜可调电容器介电性能 {{:achievement:image039.jpg|}}{{:achievement:image041.jpg|}} {{:achievement:image043.jpg|}} * 双稳态电热微驱动器与微继电器