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通用MEMS技术实验室

MEMS实验室简介

“通用MEMS技术实验室”依附于上海交通大学微纳科学技术研究院,由7位专职成员和一位兼职教授组成,分别来自微电子、化学、材料、机械、光学工程等学科,其中教授3名,副教授2名,高工1名,讲师2名。

研究室主要研究方向为非硅材料三维微加工技术研究和信息MEMS器件研制,涉及LIGA/准LIGA加工技术、UV-LIGA 技术、电化学微加工技术、薄膜电子材料制备与微细加工技术、RF MEMS器件,Optical-MEMS器件、MEMS继电器、MEMS传感器等诸多领域。

近3年来研究室在上述领域先后主持完成了包括国家863计划5项、自然科学基金6项、上海市发展基金、预研基金在内的二十多项国家级与省部级重要科研项目,建立了一系列具有自主知识产权的非硅三维微加工工艺,研制出微马达、MEMS 光开关、MEMS 光衰减器、MEMS 继电器等典型 MEMS 器件。

研究团队

目前在主要研究方向所涉及的领域承担着近十项研究课题

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start.txt · 最后更改: 2013/04/18 14:12 由 wyyw